有兩種基本類型：   波長色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF)

 檢測元素范圍：有效的元素測量范圍為 11號元素（Na）到92號元素（U）

樣品要求：熒光分析的樣品有效厚度一般為≤0.1mm。（金屬≤0.1ｍｍ；樹脂≤3ｍｍ）有效厚度并非初級

線束穿透的深度，而是由分析線能夠射出的深度決定的！

優點：分析速度高；非破壞分析；分析精密度高；制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

缺點：難于作絕對分析，故定量分析需要標樣；對輕元素的靈敏度要低一些；容易受相互元素干擾和疊

加峰影響。無法測定價態。半定量分析。

XRF測試的點很小通常在10毫米左右，如果樣品放置的位置不同，很容易導致測試結果不一樣，而這種情

況下，不一定是儀器出現問題，也有可能是樣品的材質不均勻。